新型的硅深刻蝕技術

新型的硅深刻蝕技術

牛津儀器發(fā)布了名為PlasmaPro® Estrelas100的硅深刻蝕技術，該技術提供了工業(yè)級的工藝性能，可以為微機電系統(tǒng)（MEMS）市場提供極為靈活的解決方案。

考慮到研發(fā)領域的需要，PlasmaPro® Estrelas100提供了*的工藝靈活性。因為硬件的設計考慮到了在同一個空間內(nèi)，同時實現(xiàn)多步刻蝕（Bosch™）和冷凍刻蝕的技術條件，所以可以刻蝕出微米和納米級的結構。無論是光滑側壁處理，還是高速率刻蝕，PlasmaPro® Estrelas100都已經(jīng)考慮到，無需改變反應室的硬件就可以滿足微機電系統(tǒng)領域復雜多變的需求。

伴隨著新型微機電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展和商業(yè)化，一些傳統(tǒng)的器件如加速度計、陀螺儀和麥克風持續(xù)大量的被應用到各種的消費電子產(chǎn)品，包括顯示器、汽車產(chǎn)品等。微機電系統(tǒng)可以滿足需要小型化器件或傳感器領域的需求。在研發(fā)領域的嶄新需求包括：能量收集器、揚聲器、無線射頻識別技術、微型投影儀、振蕩器、微電池以及自動對焦技術等等。

“牛津儀器的等離子技術部門將一如既往地為已有的或新出現(xiàn)的微機電系統(tǒng)應用市場開發(fā)先進的工藝技術” ，牛津儀器等離子技術銷售主管Mark Vosloo評論說，“由于帶有寬泛的工藝和應用組合，我們的技術滿足了當前的和未來的技術需求。我們在微機電系統(tǒng)的研發(fā)領域有著超過19年的經(jīng)驗，我們對市場需求充分了解，能夠真正地掌握客戶的需求并為他們提供的工具。”

*化的硬件和工藝控制，以及杰出的客戶服務，意味著牛津儀器可以為其客戶持續(xù)提供產(chǎn)品，這些都可以大大降低客戶的成本。

新系統(tǒng)的成功開發(fā)，鞏固了牛津儀器在新一代工具和系統(tǒng)的工業(yè)和研發(fā)市場中的供應商的地位，這得益于我們對微觀尺度物質(zhì)的分析和操控能力。公司開拓創(chuàng)新，把智能科技應用到*的產(chǎn)品中，為21世紀研發(fā)和工業(yè)應用所面臨的挑戰(zhàn)提供了可靠的支持。



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